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    磁控濺射真空鍍膜機設備用途和控制系統特點

    作者: 來源: 日期:2019-12-24 9:01:24 人氣:8998

           跟鍍膜行業有接觸的工作人員,幾乎人人都知道磁控濺射技術,它在現今市場應用非常廣泛,各行各業鍍膜層都大量投入使用,獲得眾多商家和客戶的認可。今天浦元真空小編為大家詳細介紹一下磁控濺射真空鍍膜機生產方面的相關知識。專業磁控濺射真空鍍膜機生產實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。



           專業磁控濺射真空鍍膜機設備用途:主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。專業磁控濺射生產但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。鞍山專業磁控濺射生產平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電。

           控制系統特點:
           1)采用具有超溫偏差保護、專業磁控濺射生產數字顯示的微電腦P.I.D溫度控制器,帶有定時功能,控溫精確可靠。
           2)超溫保護、定時停機、來電恢復、溫度修正等功能。
           3)具有斷電恢復功能,在外電源突然失電又重新來電后,專業磁控濺射真空鍍膜機可自動按原設定程序恢復運行。安全裝置:
           A)慮周全的安全保護設計,實現對人員、樣品和設備的三重安全保護。
           B)全功能:傳感器故障報警、超溫報警、獨立式過升防止器、獨立式超溫保護器、過電流跳閘保護等。
            眾所周知,磁控濺射生產真空鍍膜機是用于表面處理PVD膜層的專用設備,如磁控濺射真空鍍膜機、離子真空鍍膜機、蒸發離子鍍膜機等。磁控濺射真空鍍膜機是可在低溫狀態下進行非金屬材料進行鍍膜,然而真空蒸發鍍膜機和真空多弧離子鍍膜機屬于高溫鍍膜,適用于金屬材料鍍膜。因此每種鍍膜機都有各自特點和使用范圍限制。
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