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    真空鍍膜機比較片機構性能

    作者: 來源: 日期:2016-03-28 9:29:01 人氣:2477
            分析現有光學真空鍍膜機比較片機構在使用過程中存在的問題。根據現代光學真空鍍膜機的發展趨勢和實際生產中急需解決的問題,通過多方面的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層精密光學薄膜鍍制的問題,以提高薄膜的監控精度,實現系統的自動控制,提高光學真空鍍膜機生產效率,降低生產成本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置及使用效果達到最佳。
      從上世紀八十年代以來,全球光電科學技術發展與進步迅猛,我國研發光學真空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展起來。最近二十多年,我國逐漸成為全球光學產品的加工基地,作為光學產品的關鍵工序,也是最后一道工序-- 鍍膜,要求越來越高,真空鍍膜機性能和配置也必然要得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問題就顯現出來,這就涉及到此類設備的改造、設計研發,要求相關技術人員去解決。
      真空鍍膜機比較片機構就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比較片機構要求越來越高,它對鍍制多膜層的檢測和生產效率有著重要的不可替代的作用。
            現有真空鍍膜機比較片機構
       國內低端的真空鍍膜機,從發展之初到近10年左右,大多還沿用的該比較片結構,如圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較片組成。該機構主要由1 個托盤16、三個支撐桿110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐桿110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪嚙合把運動輸入使之旋轉撥片,三者配合就完成撥片換位動作。由于一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大,整個機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致工件盤上可裝載的鍍制工件面積比較小,并且該機構只可放置6 個比較片13,直接影響生產效率。
      該結構的特點是:結構簡單,加工制造方便,安裝實施方便易行。缺點:該結構直徑面積比較大,影響裝載工件的數量;比價片放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又由于該結構完全暴露在真空室內,真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉動平穩性、靈活性一般,傳動位置重復的一致性誤差較大,清洗維護頻繁。
      根據現有比較片結構在使用過程中暴露出的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通過設計可重疊放置比較片存儲筒,使比較片機構直徑所占面積減小,但放置的比較片數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤上裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監控的精度,并降低對硬件系統的要求,容易實現對系統的自動控制。
      具體動作實施,改進后多片比較片機構的轉動,通過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸把運動輸入真空室內的大齒輪,帶動小齒輪所在傳動軸24 的轉動,最終實現整個比較片機構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比較片,到達預設的位置,同時,切換的比較片隨著工位轉動落在比較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個工位。其中,傳動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。

      其特點是:(1)減小比較片機構直徑的面積,提高裝載鍍制工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效率,提高薄膜監控的精度,降低對硬件系統的要求,系統容易實現自動控制。缺點:該比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由于該結構暴露在高溫濺射磨料的真空室內,影響其轉動平穩性、靈活性,且轉動位置重復的一致性較差,維護清洗頻繁費工。

              昆山浦元真空技術工程有限公司是一家專業研究制造生產真空鍍膜設備及其它真空相關設備的國家高新科技企業。公司本著“專注研究鍍膜工藝,提供最優質的產品及服務”的理念,贏得國內外客戶的滿意及信任,并成功打開國外市場。我們將會秉承客戶的認可,將鍍膜機研發事業推向新的高峰。我公司期待廣大國內外新老顧客前來視察、選購!

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