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    解讀真空鍍膜機的操作程序

    作者: 來源: 日期:2016-03-02 15:07:45 人氣:2623

           真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備,對其操作程序的了解是至關重要的環節,在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以下標注說明:

            一、 檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在"關"位置。

            二、打開總電源開關,設備送電。

            三、低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動升鐘罩閥,鐘罩升起。

            四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鐘罩內各部位,保證無任何雜質污物。

            五、落下鐘罩。

            六、啟動抽真空機械泵。

            七、開復合真空計電源(復合真空計型號:Fzh-1A)。

                   1)左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

                   2)低真空表"2"內指針順時針移動,當指針移動至110mA時,左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

            八、當低真空表"2"內指針再次順時針移動至6.7Pa時,低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

            九、 真空鍍膜機開通冷卻水,啟動擴散泵,加熱40min。

            十、低壓閥拉出。重復一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低真空表"2"內指針順時針移動,當指針移動至6.7Pa時,開高壓閥(閥桿順時針旋轉)。

            十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時,開規管燈絲開關。

                    1)發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射位置。

                    2)左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

            十二、 旋轉發射調節鈕"4",使高壓真空表"5"內指針指向5。

            十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

            十四、旋轉零點調節鈕"10",讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

            十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

            十六、旋轉標準調節鈕"3",讓高壓真空表"5"內指針指向10。

            十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12,當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時,再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

            十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時,開工件旋轉鈕開關,鐘罩內被鍍件PVDF膜轉動。

            十九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。

            二十、 右手旋轉右側調壓器手輪,慢慢旋轉升壓。

                      1)從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                      2)當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色,鋁絲開始熔化時,左手操作擋板鈕,移開鎢螺旋上方擋板。

                      3)鋁絲全部熔化蒸發,擋板回原位。

                      4)右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

            二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復?操作動作。

            二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

            二十三、 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間,當沒有氣.聲時,升鐘罩。

            二十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉動圓盤上。

            二十五、 落鐘罩。開機械泵。

                        1) 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                        2)當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時,低壓閥推入。

                        3) 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

                        4)當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時,開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                        5)當低壓真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時,開規管燈絲。

                        6)由?開始重復操作至? 。

            二十六、 正常生產中,如遇到突然停電時,要立即切斷高真空測量,關閉規管燈絲,高壓閥、低壓閥拉出。來電后,先讓機械泵啟動工作3~5min后,再轉入正常生產。

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