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    真空鍍膜機的真空室形變的檢測

    作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:23:06 人氣:2250
        為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐,以吸收和隔離形變,并設置形變補償調節機構,在系統抽真空前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行,防止外界因素的影響。
        而為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。首先將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經歸一化處理后為用激光自準直儀調整形變補償。由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡,在大氣環境下調整形變補償調節機構,使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。這些數據之后需要對其進行分析處理,得到測試結果。
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