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    技術知識

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    真空鍍膜機多片式比較片裝置的設計特點

    作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:20:19 人氣:2393
         1)、固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件污染,保證撥動盤15 轉動的靈活性。
       2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位置重復的一致性。
       3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平面方向的有效面積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利于光路調整,提高光學薄膜質量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片比較片,解決鍍膜機鍍制多層精密光學薄膜,比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
       4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控制電機轉動停止。軸1 旋轉定位重復的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
       5)、 轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構5,既保證電機9 通過齒輪嚙合帶動軸1 的靈活轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率提高,可鍍制超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件系統的要求,系統容易實現自動控制;(4)維護保養費用低。
       通過對真空鍍膜機多片式比較片裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重復的一致性,解決了比較片有效面積小,光路調整不方便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可以使現有的真空鍍膜機鍍制光學薄膜的質量大大提高,并且30 層以上的光學薄膜得以鍍制完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推廣和實施,
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